消除铍机加工表层损伤方法的研究.pdf

消除铍机加工表层损伤方法的研究 张鹏程， 邹觉生， 董平， 田黎明 （中国工程物理研究院， 四川绵阳 “ 信箱 “ 分箱， 绵阳“4 A4B4699 A4B46， 根据记录的拉伸曲线测出*、 8、““、 等力 学性能数据。 采用美国 .L 公司生产的 M’ 应力分析仪 测试了不同机加工后表层应力分布。该仪器采用的 是 2NOPO / 衍射几何方法， 其应力计算公式为 〔〕 “ - ’ QNCL UN9V“-，INV’ G8BW4BX， ’ 万方数据 的恒温玻璃容器中， 采用表 蚀刻剂。该蚀刻剂的 密度与铍的密度相当， 蚀刻深度通过控制蚀刻时间 来控制。 表 用于消除铍机加损伤的蚀刻剂配方 “ Z ，2494OAUU，724） 0“1*“ 89 /I47 I 579// C-5,- ,9 4-I7 5/7-,-47,4-，,9 4-I7 ,- ’ ,9 579/7 C-C-,/ / *-3/45 - ,4’/’，’ ,9 -/T/ 579/ ’5 I *-3/45 / T’[ 89 -4, 9\ ,9, ,9 75C-/T ,- ’ ,\/ / 4-I7 3- I ,9 579/’ *-3/45 - 74’ *3 ,9 ’ 5//， /, 579/7 C-C-,/ ’7-，’ ,9, ,9 579// ’5 /7- -’43 \/,9 ,9 /7-/ I ’C,9 I 74, ’ I’[ JI,- 579/ ’5 -/T’ *3 795/7 ,79/ - / I- A9 , PU]，,9 5F 79/7 C-C-,/ I *-3/45 - -7T-’[ 4- 51*-3/45；579// ’5；,\/；,-；579/7 C-C-,3 O 第 期张鹏程等 消除铍机加工表层损伤方法的研究 万方数据